压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器,压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量,陶瓷电容压力传感器加工,如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度的测量和控制。
压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线,压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性的敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
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